FETA7000T｜FETAシリーズ｜電源｜製品情報

FETAシリーズ

定格入力：AC170 ～ 264V 3Φ-3Wire
定格出力電力：7000W
出力電圧：48V、144V

高電力密度を実現したフロントエンド電源
高調波電流規制対応（IEC61000-3-12 準拠）
半導体製造装置規格対応（SEMI F47）

無償補償期間3年（取扱説明書参照）

1Uサイズの高出力電圧電源。
FETA2500/7000は約0Vまで出力電圧を可変可能で、高周波アンプやIH装置、サーボアンプ駆動などの仕様に応じた安定電圧を供給します。
さらにFETA3000BCでは、出力電圧の可変応答性を高速化し、装置の性能向上に貢献します。

種類	型番	説明	PDF	DXF
ハーネス
	H-PA-12	並列運転をする場合に使用するハーネスです。	PDFダウンロード	-
	H-PA-13	並列運転を行い、CN1，CN2の機能を使う場合に使用するハーネスです。	PDFダウンロード	-
	H-SN-47	CN1、CN2の機能を全て使う場合に使用するハーネスです（片側ハウジング）。	PDFダウンロード	-
	H-SN-55	CN1、CN2の機能を全て使う場合に使用するハーネスです（両側ハウジング）。	PDFダウンロード	-

取扱説明
別売りオプションパーツ

※掲載していない資料もあります。詳しくはお問い合せください。

FET⁽¹⁾　A⁽²⁾　7000⁽³⁾　T⁽⁴⁾　-　□□⁽⁵⁾　

(1)シリーズ名
(2)単一出力
(3)定格出力電力
(4)三相3線式入力
(5)定格出力電圧