FETAシリーズ

定格入力:AC300 ~ 480V 3Φ-4Wire
定格出力電力:7000W
出力電圧:48V、144V
高電力密度を実現したフロントエンド電源
高電圧出力(FETA7000ST-144)
高調波電流規制対応(IEC61000-3-2 クラスA準拠)
半導体製造装置規格対応 (SEMI F47)
無償補償期間3年(取扱説明書参照)
1Uサイズの高出力電圧電源。
FETA2500/7000は約0Vまで出力電圧を可変可能で、高周波アンプやIH装置、サーボアンプ駆動などの仕様に応じた安定電圧を供給します。
さらにFETA3000BCでは、出力電圧の可変応答性を高速化し、装置の性能向上に貢献します。
ハーネス
| 種類 | 型番 | 説明 | DXF |
|---|
FET(1) A(2) 7000(3) ST(4) - □□(5)
(1)シリーズ名
(2)単一出力
(3)定格出力電力
(4)三相4線式入力
(5)定格出力電圧
※詳細仕様、ご使用方法は、カタログ・取扱説明をご参照ください