FETAシリーズ
定格入力：AC170 ～ 264V 1Φ
定格出力電力：3000W
出力電圧：48V
高電力密度（48V 出力：2.09W / cm3）を実現したフロントエンド電源
高効率（48V 出力：93.0% ： lo=50%時）
高調波電流規制対応（IEC61000-3-2 クラスA準拠）
半導体製造装置規格対応（SEMI F47）
無償補償期間3年（条件付：取扱説明書参照）
1Uサイズの高出力電圧電源。
FETA2500/7000は約0Vまで出力電圧を可変可能で、高周波アンプやIH装置、サーボアンプ駆動などの仕様に応じた安定電圧を供給します。
さらにFETA3000BCでは、出力電圧の可変応答性を高速化し、装置の性能向上に貢献します。
単相250V 20A 汎用
150ｋHz-1MHz高減衰 1段フィルタ
FET(1) A(2) 3000(3) B(4) A(5) - □□(6) - □(7)
(1)シリーズ名
(2)単一出力
(3)定格出力電力
(4)200系入力
(5)バージョン
(6)定格出力電圧
(7)オプション
R： リモートコントロール
ロジック反転仕様
